高纯气体必须满足2 个条件:
1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。
电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求， 可列为高纯气体。
理论上， 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上， 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。
气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，高纯气体，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。
气体监测和分析的重要性
随着晶片的几何结构缩小，合肥气体，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和极小的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。
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